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VHF-Plasmaabscheidung von amorphem Silizium : Einfluss der Anregungsfrequenz, der Reaktorgestaltung sowie Schichteigenschaften
Auteur(s)
Kroll, Ulrich Justus
Maison d'édition
Konstanz : Hartung-Gorre
Date de parution
1995
Nombre de page
89 p.
Notes
Thèse de doctorat, Sciences, Microtechnique
Identifiants
Type de publication
doctoral thesis
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