VHF-Plasmaabscheidung von amorphem Silizium : Einfluss der Anregungsfrequenz, der Reaktorgestaltung sowie Schichteigenschaften

Author(s)

Kroll, Ulrich Justus

Publisher

Konstanz : Hartung-Gorre

Date issued

1995

Number of pages

89 p.

Notes

Thèse de doctorat, Sciences, Microtechnique

Publication type

doctoral thesis

Identifiers

https://libra.unine.ch/handle/20.500.14713/31842

DOI

10.35662/unine-thesis-1257

File(s)

Name

00001257.pdf

Type

Main Article

Size

1.5 MB

Format

Adobe PDF