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Non-conventional techniques for optical lithography

Auteur(s)
Dändliker, René
Editeur(s)
Gray, S.
Clube, Francis S. M.
Herzig, Hans-Peter
Völkel, Reinhard
Date de parution
1995
In
Microelectronic Engineering, Elsevier, 1995/27/1-4/205-211
URI
https://libra.unine.ch/handle/123456789/17241
DOI
10.1016/0167-9317(94)00090-H
Autre version
http://dx.doi.org/10.1016/0167-9317(94)00090-H
Type de publication
Resource Types::text::journal::journal article
Dossier(s) à télécharger
 main article: D_ndliker_Ren_-_Non-conventional_techniques_for_optical_lithography_20071218.pdf (3.85 MB)
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