Electrostatic polysilicon microrelays

Auteur(s)

Grétillat, Marc-Alexis

Maison d'édition

Neuchâtel : Institute of microtechnology University of Neuchâtel

Date de parution

1997

Nombre de page

112 p.

Notes

Thèse de doctorat, Sciences, Microtechnique

Identifiants

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Type de publication

doctoral thesis

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