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Integrated and hybrid electrostatic rotary micromotors based on silicon technology
Auteur(s)
Paratte, Lionel
Maison d'édition
Neuchâtel : [s.n.]
Date de parution
1996
Nombre de page
129 p.
Notes
Thèse de doctorat, Sciences, Microtechnique
Identifiants
Type de publication
doctoral thesis
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