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Multi-axial silicon bulk-micromachined accelerometers with capacitive or optical read-out
Auteur(s)
Schröpfer, Gerold
Maison d'édition
[S.l.] : [s.n.]
Date de parution
1998
Nombre de page
178 p.
Notes
Thèse de doctorat, Sciences, Physique
Identifiants
Type de publication
doctoral thesis
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