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Theoretical and experimental investigations on silicon single crystal resonant structures
Auteur(s)
Buser, Rudolf A.
Maison d'édition
Neuchâtel : [s.n.]
Date de parution
1989
Nombre de page
234 p.
Notes
Thèse de doctorat, Sciences, Microtechnique
Identifiants
Type de publication
doctoral thesis
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