VHF-Plasmaabscheidung von amorphem Silizium : Einfluss der Anregungsfrequenz, der Reaktorgestaltung sowie Schichteigenschaften

Author(s)

Kroll, Ulrich Justus

Publisher

Konstanz : Hartung-Gorre

Date issued

1995

Number of pages

89 p.

Notes

Thèse de doctorat, Sciences, Microtechnique

Publication type

doctoral thesis

Identifiers

DOI

-

File(s)

Name

00001257.pdf

Type

Main Article

Size

1.5 MB

Format

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Checksum

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