Design, fabrication and characterization of piezoresistive pressure sensors, including the study of electrochemical etch-stop - Kloeck, Ben (Neuchâtel : [s.n.], 1989)
Thèse de doctorat, Sciences, Microtechnique
Keywords: Membrane switches--Design and construction; Micromachining; Pressure transducers--Design and construction; ELEKTROCHEMISCHES ÄTZEN (ELEKTROCHEMISCHE TECHNIK); MESSTECHNISCHE SONDEN, SENSOREN, DETEKTOREN (PHYSIK); PIEZOELEKTRISCHE DRUCKMESSUNG (MECHANIK); Druckmessung; Sensor; Drucksensor; Siliciumbauelement; Hochschulschrift