Photopatterning at thick photoresist layers for MEMS applications - Roth, Sylvain (Neuchâtel : Université de Neuchâtel, 2000)
Thèse de doctorat, Sciences, Microtechnique
Keywords: Photoresist; MIKROELEKTROMECHANISCHE BAUELEMENTE, MEMS (ELEKTROTECHNIK); PHOTOLITHOGRAPHIE (PHOTOGRAPHIE); Hochschulschrift